4+4~7.5+5.5
结构简单·布局紧凑:外形尺寸小,占地面积少,运行稳定,操作方便,运行、保养和维修成本较低;工作无油:泵腔体内无润滑介质,内部无油,不耗油,无滴漏,不用担心高真空状态下油气返流至客户端,无油气和油雾排放,可获得洁净真空,可抽含有少量小颗粒的空气,转子不易磨损,运行平稳,使用寿命长。可抽可凝性气体。转子有防腐涂层,不易腐蚀。
水冷设计:干式螺杆泵采用水冷设计,提高冷却效率,降低真空泵温度;真空度高,抽速大:前级泵为干式螺杆泵,采用专为其开发的转子型线,型线密封好,变螺距转子,结构更复杂,精度更高,可高速运转,转子无接触,无需润滑介质,极限真空度高。在接近极限真空度的过程中,抽气速率会不断降低,这时作为主泵的罗茨泵发挥其优势,为机组提供抽速,在高真空区域也可保证较大抽速,能耗较小。
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